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立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用

李敬锋

无机材料学报

综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景.

关键词: MEMS , microfabrication , microscale materials processing , microdevice , piezoelectric , thermoelectric

烧结烟气余热热电发电模型与数值模拟

孟凡凯 , 陈林根 , 杨博 , 孙丰瑞

工程热物理学报

针对钢铁工业中的大量烧结烟气余热,提出一种基于热电发电技术的显热回收方案,建立了相应的计算模型,得到了烟气、冷却水、热电单元端点温度沿流动方向的分布特征,分析了烟气温度、烟气换热系数、冷却水换热系数对最优热电单元长度的影响,并分析了热电单元横截面积对电流和电压的影响.结果表明,对于350℃的烧结烟气,每平方米换热面积可以产生约1.47 kW电能,热效率约为4.5%,设备成本的回收周期在4年左右.

关键词: 烧结烟气 , 余热回收 , 热电 , 发电 , 有限时间热力学

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